| 发明名称 | 准分子灯装置 | ||
| 摘要 | 一种准分子灯装置，提高表面处理效率和真空紫外光的发光效率。具备：灯壳(10)；准分子灯(20)；具有气体喷出口(12a)的气体供给管(12A)；及搬送机构(38)；在该对被处理体(W)照射准分子光的准分子灯装置(10)中，在上述灯壳(10)内相互分离地设置有多个气体供给管，相邻的气体供给管彼此具备设置在一个气体供给管上的气体喷出口与设置在另一个气体供给管上的气体喷出口成为一对的关系的至少一对气体喷出口；该一对气体喷出口形成为，一个气体喷出口的喷出方向与另一个气体喷出口的喷出方向，在该相邻的气体供给管所夹着的空间(A)内相对或交叉，准分子灯配置在该空间(A)的铅直下方。 | ||
| 申请公布号 | CN101740316B | 申请公布日期 | 2014.07.23 |
| 申请号 | CN200910225921.7 | 申请日期 | 2009.11.23 |
| 申请人 | 优志旺电机株式会社 | 发明人 | 远藤真一 |
| 分类号 | H01J65/00(2006.01)I;H01J61/35(2006.01)I;F21V29/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I | 主分类号 | H01J65/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 陈萍 |
| 主权项 | 一种准分子灯装置，具备：向铅直下方开口的灯壳；收容于该灯壳内的准分子灯；具有气体喷出口的气体供给管；以及搬送机构；对所搬送的被处理体照射准分子光，该准分子灯装置的特征在于，在上述灯壳内，相互离开地设置有多个上述气体供给管，相邻的气体供给管彼此具备至少一对气体喷出口，该一对气体喷出口为，在一个气体供给管上设置的气体喷出口与在另一个气体供给管上设置的气体喷出口成为一对的关系，该一对气体喷出口形成为，一个气体喷出口的喷出方向与另一个气体喷出口的喷出方向，在该相邻的气体供给管所夹着的空间内相对或者交叉，上述准分子灯配置在该相邻的气体供给管所夹着的空间之外且在所述空间的铅直下方，上述准分子灯的放电容器为，位于上方侧的平坦壁与位于下方侧的平坦壁相互平行地延伸，在该放电容器的上方侧的平坦壁以及下方侧的平坦壁上形成有电极。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||