晶圆研磨液管路式超音波震匀设备

摘要

一种晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为由至少一槽管体层竖设包围的封闭筒件，而封闭筒件内部的槽管体为上端横伸出出液管下端横伸出入液管，且管底端封闭的竖直震匀槽管，使入液管由下端通入竖直震匀槽管内空间，而出液管由上端通入竖直震匀槽管内空间，使晶圆研磨原液加水经入液管进入竖直震匀槽管内空间，竖直震匀槽管顶端管口架框套塞一单频超音波震荡头，且使单频超音波震荡头发震端固接一传导棒，棒端垂伸入竖直震匀槽管内空间。本实用新型比现有叶片搅匀晶圆研磨液设备，能更震散细粒相溶混合、提高混匀质量，且能更快更节省混匀预定晶圆研磨稀释液时间。

主权项

一种晶圆研磨液管路式超音波震匀设备，不同于现有叶片搅匀晶圆研磨液设备以驱动叶片进行搅拌的结构，其主体为由至少一槽管体层竖设包围的封闭筒件，而封闭筒件内部中央的槽管体为上端横伸出出液管下端横伸出入液管，且管底端封闭的竖直震匀槽管，使入液管由下端通入竖直震匀槽管内空间，而出液管由上端通入竖直震匀槽管内空间，使晶圆研磨原液加水经入液管进入竖直震匀槽管内空间，其特征在于：竖直震匀槽管顶端管口架框套塞一单频超音波震荡头，且使单频超音波震荡头发震端固接一传导棒，棒端垂伸入竖直震匀槽管内空间。