测试盘旋转装置以及直列式测试分选机

摘要

本发明涉及一种测试盘旋转装置以及包含其的直列式测试分选机，所述测试盘旋转装置包括：支撑机构，用于支撑在第一腔室单元和第二腔室单元之间搬运的测试盘，所述第一腔室单元和所述第二腔室单元朝向不同方向且隔着间隔设置；基座机构，可旋转地结合有所述支撑机构；以及旋转机构，旋转测试盘，使得收容在测试盘上的半导体元件在所述第一腔室单元和所述第二腔室单元中以相同的配置进行测试。

主权项

一种直列式测试分选机，其特征在于，包括：第一腔室单元，用于执行对半导体元件的测试过程；第二腔室单元，朝向与所述第一腔室单元不同的方向，并且与所述第一腔室单元隔着间隔设置，用于执行对半导体元件的测试过程；分拣单元，分别与所述第一腔室单元和所述第二腔室单元隔着间隔设置，用于执行将待测试的半导体元件收容在测试盘上的装载过程和将测试后的半导体元件从测试盘分离的卸载过程；传送单元，搬运测试盘，使得所述分拣单元、所述第一腔室单元以及所述第二腔室单元连接成直列；以及旋转装置，旋转测试盘，使得收容在测试盘上的半导体元件在所述第一腔室单元和所述第二腔室单元中以相同的配置进行测试。