发明名称 |
一种激光加工纳米粉送粉管 |
摘要 |
本发明公开了一种激光加工纳米粉送粉管,在所述矩形结构的下部开设有凹槽结构,所述激光加工送粉管横截面呈一半圆和一半矩形的<img file="DDA00002688877300011.GIF" wi="127" he="62" />结构,在所述半圆形结构的外壁上开设有3个圆形凹槽,在所述圆形凹槽中设置纽扣型的微型振动器,所述微振动器的底部和四周同所述圆形凹槽胶接;所述凹槽结构的底部具有开口,所述开口的距离小于其内部空间的宽度,所述凹槽结构用来容置观察板,所述观察板能从所述凹槽结构中被推入或者被推出;所述凹槽结构的顶部设置有弹簧,所述弹簧一端固定在凹槽结构的顶部,另一端连接一表面光滑的薄板;所述薄板的下方与所述观察板在弹簧的作用力下挤压接触,从而能随时固定所述观察板的位置。 |
申请公布号 |
CN103014700B |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201210593032.8 |
申请日期 |
2012.12.31 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
林学春;赵伟芳;侯玮;于海娟;李晋闽 |
分类号 |
C23C24/10(2006.01)I;B23K26/34(2014.01)I |
主分类号 |
C23C24/10(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种激光加工纳米粉送粉管,其包括载流气送粉管、汇聚气管;其中,所述载流气送粉管和汇聚气管同心设置 ;所述激光加工纳米粉送粉管横截面呈一半圆和一半矩形的<img file="FDA0000500522900000011.GIF" wi="132" he="73" />结构 ;在所述矩形结构的下部开设有凹槽结构;所述凹槽结构用来容置观察板,所述观察板为一黑色塑料板,其能够从所述凹槽结构中被推入或者被推出,以便观察纳米粉末的运动状态。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |