感光性树脂组合物、结构体的制造方法和液体排出头

摘要

一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物；具有由式1表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂，其中R表示可用氟原子取代并且总碳数为1-30的烃基；X选自由碳原子和磷原子组成的组；Y选自由-S(=O)₂-、-O-CF₂-、-C(=O)-CF₂-、-O-C(=O)-CF₂-、-C(=O)-O-CF₂-和单键组成的组；当Y为-S(=O)₂-或单键时，R具有至少一个氟原子；当X为碳原子时，m和n为选自由m+n=3和n=0、1和2组成的组的整数；当X为磷原子时，m和n为选自由m+n=6和n=0-5组成的组的整数；以及当m等于或大于2时，R和Y可以彼此不同；和阴离子部分和阳离子部分的盐，其中源自所述阴离子部分的酸的酸强度等于或大于六氟磷酸的酸强度，并且等于或小于六氟锑酸的酸强度。

主权项

一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物；和具有由化学式1表示的阴离子部分和由式4表示的阳离子部分的第一光酸产生剂：<化学式1>其中R表示可用氟原子取代并且总碳数为1‑30的烃基；X选自由碳原子和磷原子组成的组；Y选自由‑S(=O)₂‑、‑O‑CF₂‑、‑C(=O)‑CF₂‑、‑O‑C(=O)‑CF₂‑、‑C(=O)‑O‑CF₂‑和单键组成的组；当Y为‑S(=O)₂‑或单键时，R具有至少一个氟原子；当X为碳原子时，m和n为选自由m+n=3和n=0、1和2组成的组的整数；当X为磷原子时，m和n为选自由m+n=6和n=0‑5组成的组的整数；以及当m等于或大于2时，R和Y可以彼此不同，<式4>(化学式4)其中R₁至R₃表示总碳数为6‑30的芳基、总碳数为4‑30的杂环基、总碳数为1‑30的烷基、总碳数为2‑30的链烯基或总碳数为2‑30的炔基，R₁至R₃具有至少两个在总组成原子中包括的氧原子；和第二光酸产生剂，其包括阳离子部分结构和阴离子部分结构的组合，其中源自所述阴离子部分的酸的酸强度等于或大于六氟磷酸的酸强度，并且等于或小于六氟锑酸的酸强度。