发明名称 |
硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法;以热丝CVD装置为沉积设备,在传统的氢气与丙酮反应体系中加中含硼及含氮化合物,形成共掺杂体系,调节反应工艺参数,制备出纳米金刚石颗粒与定向金刚石颗粒共存的薄膜。该方法工艺流程简单,获得的薄膜具有比随机取向微米级金刚石薄膜平整的表面,耐磨损性高且均一,易抛光、内应力低以及膜基附着力高等特点。 |
申请公布号 |
CN103938182A |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201410138529.X |
申请日期 |
2014.04.08 |
申请人 |
上海交通大学;上海交友钻石涂层有限公司;苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司 |
发明人 |
王亮;孙方宏;张文骅;沈彬;郭睿;张志明;郭松寿 |
分类号 |
C23C16/30(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/30(2006.01)I |
代理机构 |
上海汉声知识产权代理有限公司 31236 |
代理人 |
牛山;陈少凌 |
主权项 |
一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法,其特征在于,所述方法包括:将预处理过的基体材料置于热丝CVD设备中,采用了硼氮共掺杂沉积工艺,在0.5kPa~1.5kPa的反应气压以及850~1000℃的基体温度下沉积,即可获得所述硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜。 |
地址 |
200240 上海市闵行区东川路800号 |