用于精炼多晶矽循环真空设备之石墨吸嘴

摘要

本发明之石墨吸嘴系由复数节石墨管堆叠组合而成，适用于精炼多晶矽循环真空设备内或是作为防火耐火材的内衬使用。其中，每一石墨管包括一上结合部与一下结合部，上结合部位于该石墨管的上方顶面，下结合部位于该石墨管的下方底面，并与该上结合部对应，使得各石墨管之该上结合部与另一石墨管之该下接合部可相互抵接，并于各石墨管堆叠之后，经由烧结处理使各石墨管融合密接。

主权项

一种用于精炼多晶矽循环真空设备之石墨吸嘴，系由复数节石墨管堆叠组合而成，其中每一石墨管包括：一上结合部，位于该石墨管的上方顶面；及，一下结合部，位于该石墨管的下方底面，并与该上结合部对应，使得各石墨管之该上结合部与另一石墨管之该下接合部可相互抵接；并于各石墨管堆叠之后，经由烧结处理使各石墨管融合密接。