发明名称 具有被动元件结构之半导体结构及其制造方法
摘要 一种具有被动元件结构之半导体结构及其制造方法。半导体结构包括绝缘基板、被动元件结构层、电性触点及介电层。被动元件结构层形成于绝缘基板。电性触点形成于被动元件结构层。介电层覆盖电性触点之一部分,电性触点之另一部分系从介电层之开孔露出。
申请公布号 TWI446507 申请公布日期 2014.07.21
申请号 TW100100719 申请日期 2011.01.07
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 高雄市楠梓加工区经三路26号 发明人 施旭强;李 德章;谢孟伟
分类号 H01L23/498;H05K1/18;H01L21/48 主分类号 H01L23/498
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种具有被动元件结构之半导体结构,包括:一绝缘基板,具有一第一贯孔;一被动元件结构层,形成于该绝缘基板;一第一电性触点,形成于该被动元件结构层;一第二电性触点,形成于该第一贯孔;以及一第一介电层,覆盖该第一电性触点之一部分,其中该第一介电层具有一第一开孔,该第一电性触点之另一部分系从该第一开孔露出。
地址 高雄市楠梓加工区经三路26号