凹型溅镀装置

摘要

凹型溅镀装置包含一外壳座单元、一设于外壳座单元中且呈凹型的冷却载座、一磁石组、一阴极靶及一安装于外壳座单元的进出水管组，冷却载座包括一本体、一设置于本体且供磁石组设置的磁石容置槽组、一设置于本体的冷却流道及一承载面，承载面具一平坦中段及二自中段二侧以倾角延伸的倾斜段，阴极靶固设于承载面并包括一叠置于中段的靶材，及二叠置于倾斜段的倾斜靶材，进出水管组用于连通冷却流道，本新型藉冷却载座提供配置冷却流道，利用冷却载座供磁石组与阴极靶安装以简化结构。

主权项

一种凹型溅镀装置，包含：一外壳座单元，包括一基板、一位于该基板上的主壳体，及一锁固于该主壳体顶缘的阳极框；一冷却载座，设置于该外壳座单元中，该冷却载座呈凹型设置，该冷却载座的两侧高度高于中间高度，该冷却载座包括一本体、一设置于该本体的磁石容置槽组、一设置于该本体的冷却流道，及一承载面，该承载面具有一平坦的中段，及二分别自该中段二侧以一倾角延伸的倾斜段；一磁石组，设置于该冷却载座的磁石容置槽组中；一阴极靶，固设于该冷却载座的承载面，该阴极靶包括一叠置于该中段的中央靶材，及二分别叠置于该等倾斜段的倾斜靶材；及一进出水管组，安装于该外壳座单元上，该进出水管组用于连通外部冷却液源及该冷却载座的冷却流道。