具有流体分离特性之封闭腔室

摘要

从一封闭处理腔室中选择性地回收多余处理流体，系藉由于该封闭处理腔室中设置可相对地垂直移动的一磁力驱动环形夹具和至少一处理流体汇集部而实现。

主权项

一种晶圆状物件之处理装置，包含：一封闭处理腔室；一环形夹具，位于该封闭处理腔室中；及至少一处理流体汇集部，该流体汇集部可经由该封闭处理腔室之底壁流体连通至该封闭处理腔室外侧，于其中，该环形夹具透过一磁性轴承而在无须实体接触的情况下受到驱动，于其中，该环形夹具及该至少一处理流体汇集部可相对彼此沿垂直方向移动，且其中该至少一处理流体汇集部包含一可垂直方向移动的防溅板。