投影光学系统、曝光装置以及半导体元件的制造方法

摘要

一种可抑制光学特性的劣化且可减少晶圆上的OoB照射量的投影光学系统。投影光学系统具有第1反射镜及第2反射镜，该第1反射镜对于与特定的第1波长光不同的第2波长光的反射率低于特定反射率，该第2反射镜对于上述第2波长光的反射率高于上述特定反射率。于将投影光学系统的反射镜分为与晶圆上的不同的2点相对应的反射区域重叠的比率较大的反射镜(M1、M2、M5、M6)、以及反射区域重叠的比率较小的反射镜(M3、M4)时，将反射区域重叠的比率较小的反射镜中，在投影光学系统的光路中位于最上游的反射镜(M3)设为第2反射镜。

主权项

一种投影光学系统，是将第1面的图案的像投影至第2面，其特征在于，上述投影光学系统包括：对特定波长光的反射率低于特定反射率的第1反射镜，以及对于上述波长光的反射率高于上述特定反射率的第2反射镜；且沿自上述第1面朝向上述第2面的光路，上述第1反射镜较上述第2反射镜更靠近第1面侧。