涂布装置

摘要

本发明系提供一种能够一方面维持低价之装置制造成本，一方面正确地实行涂布液之涂布与异物之检测之涂布装置。本发明之涂布装置具备：于基板100涂布涂布液之涂布喷嘴21；检测存在于基板100之表面的异物之异物检测机构22；悬浮平台14；异物检测平台12；涂布平台11；悬浮平台15；从形成于异物检测平台12上之排气口进行排气之第1排气机构；及从形成于涂布平台11上之排气口进行排气之第2排气机构。

主权项

一种涂布装置，其系对基板之下面供给气体，藉此在使基板悬浮的状态下，使基板向一方向移动，从而将涂布液涂布于基板之表面者，其特征为具备：涂布喷嘴，其对向一方向移动之基板之表面涂布涂布液；异物检测机构，其相对于上述涂布喷嘴而配置于基板之搬送方向之上游侧，并且检测存在于基板之表面之异物；一对悬浮平台，其形成有向其与基板之间之区域喷出气体之喷出口；精密悬浮平台，其配置于上述一对悬浮平台之间，且形成有向其与基板之间之区域喷出气体之喷出口，与从其与基板之间之区域排放气体之排气口；第1排气机构，其用于从上述精密悬浮平台之位于基板之搬送方向之上游侧的排气口排放气体；及第2排气机构，其用于从上述精密悬浮平台之相对于藉由上述第1排气机构进行排气之排气口而位于上述基板之搬送方向之下游侧之排气口排放气体；且上述精密悬浮平台具备用以藉由上述异物检测机构检测异物之异物检测平台，与相较于上述异物检测平台更配置于基板之搬送方向之下游侧，用以利用上述涂布喷嘴涂布涂布液之涂布平台；且上述第1排气机构系从形成于上述异物检测平台之排气口进行排气，并且上述第2排气机构系从形成于上述涂布平台之排气口进行排气；藉由控制从上述第1排气机构及上述第2排气机构之排气，而使在上述涂布平台的基板的高度低于在上述异物检测平台的基板的高度。