表面检查装置、偏光照明装置、及受光装置

摘要

提供即使将照明光短波长化，亦可以确实因应重复间距微细化之表面检查装置以及表面检查方法。;本发明之表面检查装置，其特征在于，具有：光源机构，系射出用来照明被检查基板之直线偏光的发散光束；光学构件，系将该直线偏光之发射光束以该光束之主光线具有固定入射角的方式加以射入，并导引至该被检查基板；受光机构，系接收来自该被检查基板之光束中、偏光方向与该直线偏光正交之直线偏光；以及至少1个之偏光修正构件，系配置在该光源机构与该受光机构之间的光路中，用来消除因该光学构件所产生之偏光面的失序；根据该受先机构所接收之光来进行该被检查基板表面之检查。

主权项

一种表面检查装置，其特征在于，具有：光源机构，系射出用来照明被检查基板之直线偏光的发散光束；照明用光学构件，系以将该直线偏光之发散光束以既定入射角使该光束之主光线入射并将已入射之光束导引至该被检查基板之方式配置；受光机构，系以接收来自该被检查基板之光束中、偏光方向与该直线偏光正交之直线偏光之方式配置；以及至少1个之偏光修正构件，系以消除与该发散光束之主光线对该照明用光学构件之入射角对应而产生之偏光面的失序之方式配置在该光源机构与该受光机构之间的光路中；根据该受光机构所接收之光来进行该被检查基板表面之检查。