曝光装置

摘要

本发明之曝光装置包含：载置并搬送一彩色滤光片基板1之一载台5；使一光罩14迫近面向该彩色滤光片基板1并加以保持之一光罩载台6；在曝光期间中始终亮灯并对该光罩14照射曝光光线的一光源7；将照射于该光罩14之曝光光线之亮度分布均匀化的一光学积分器8；使照射于该光罩14之曝光光线成为平行光之一聚光透镜9；将该光学积分器8的一端面之像成像于该聚光透镜9之前面的一成像透镜10；以及一光阀11，配置于该成像透镜10之成像位置附近，在藉由该彩色滤光片基板1之移动而使多个曝光区域2依次通过光罩14之下侧时，同步进行曝光光线之照射与遮断间切换。藉此，防止在被曝光体上沿着其搬送方向所设定之多个曝光区域外部、互相邻接的曝光区域间之部分被曝光。

主权项

一种曝光装置，其系包含：一载台，上面载置有一曝光体，该被曝光体设有排成至少一列的多个曝光区域，该载台并朝该多个曝光区域之一设定方向以特定速度搬送该曝光体；一光罩载台，装设于该载台上方，使一形成有特定形状开口的图案之光罩迫近面对该被曝光体并加以保持；一光源，在对该被曝光体曝光期间中始终亮灯，俾对被保持于该光罩载台之该光罩的该图案照射曝光光线；以及一聚光透镜，装设于该光罩载台与该光源之间，用于将照射于该光罩之曝光光线变成平行光；其特征为包含：一成像透镜，装设于该光源与该聚光透镜之间，并将该光源之像成像于该聚光透镜之前面；以及一光阀，交互地具有多个狭缝与多个遮光区域，而装设于依该成像透镜所形成的该光源之像的成像位置附近，在对于该被曝光体的该曝光区域之曝光执行中会停止，而通过该多个狭缝当中的一个狭缝来使曝光光线照射在该曝光区域，在藉由该被曝光体之搬送而使相互邻接于该多个曝光区域外部之曝光区域之间的部分通过该光罩图案下侧时，会同步往该被曝光体搬送方向的相反方向移动，而在该移动方向上，藉由位在该一狭缝下游测的该遮光区域，来将照射在该邻接之曝光区域之间的部分之曝光光线遮断。