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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR DETACHING A WAFER FROM A CARRIER
摘要
申请公布号 KR20140091621(A) 申请公布日期 2014.07.21
申请号 KR20147019315 申请日期 2010.03.16
申请人 EV GROUP GMBH 发明人 THALLNER ERICH
分类号 H01L21/67;H01L21/677 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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