| 摘要 |
Способ формирования диэлектрической пленки, включающий обработку поверхности подложек из газовой смеси, отличающийся тем, что обработку подложек из газовой смеси ведут с добавкой оксида азота при мольном соотношении компонентов: тетрахлорид циркония: кислород: оксид азота, равном 1:1:(1,58-1,63) с предварительным нагревом до температуры 300-400°С, скорость газового потока 15±5 л/ч. |
