发明名称 СПОСОБ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ p-n-ПЕРЕХОДОВ НА ОСНОВЕ АЛЮМИНИЯ
摘要 Способ защиты поверхности кристаллов р-n переходов на основе алюминия, включающий защиту поверхности р-n переходов, отличающийся тем, что процесс ведут в печи на основе окиси алюминия в виде порошка при температуре 1050°С, температура кристалла -850°С, а в качестве несущего агента служит галоген HBr, расстояние между источником окиси алюминия и кристалла равно 15 см, при этом толщина пленки окиси алюминия δ=0,9±0,1 мкм.
申请公布号 RU2013100521(A) 申请公布日期 2014.07.20
申请号 RU20130100521 申请日期 2013.01.09
申请人 ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) 发明人 Исмаилов Тагир Абдурашидович;Шангереева Бийке Алиевна
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址