发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen eines elektronischen Bauelements auf ein Substrat |
摘要 |
<p>Verfahren zum Aufbringen eines elektronischen Bauelementes (1) auf ein Substrat (7), mit folgenden Verfahrensschritten: Bereitstellen eines Trägermaterials (4) mit darauf gehaltenen elektronischen Bauelementen (1), die Kontaktbereiche (3) aufweisen, positionsgenaues Zuführen eines jeweiligen auf dem Trägermaterial (4) gehaltenen elektronischen Bauelementes (1) zu einem Substrat (7), Aufbringen eines Kraftimpulses auf das Substrat (7) in Richtung des Trägermaterials (4) und Verbinden der Kontaktbereiche (3) des jeweiligen elektronischen Bauelementes (1) mit Kontaktbereichen des Substrats (7) durch Verkleben des Trägermaterials (4) mit dem Substrat (7) mittels einer Kleberschicht (8; 9).</p> |
申请公布号 |
DE102009022299(B4) |
申请公布日期 |
2014.07.17 |
申请号 |
DE20091022299 |
申请日期 |
2009.05.22 |
申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITÄT CHEMNITZ |
发明人 |
WALTHER, THOMAS;DINTER, MAIK;BAUMANN, REINHARD ROLAND |
分类号 |
H01L21/58;H01L21/67;H05K3/32 |
主分类号 |
H01L21/58 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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