| 摘要 |
Versorgungsendblock zur Versorgung einer Sputterkathode mit einem Kühlmittel, umfassend ein Gehäuse (2) mit einer Anschlussöffnung (21) und einer die Anschlussöffnung (21) umschließenden ersten Befestigungsfläche (22) zur Anbringung des Gehäuses (2) an einer Stützfläche (11), sowie mit einer Lageröffnung (23), ein in der Lageröffnung (23) angeordnetes Trägerbauteil (3) mit einem Wellenlager (31), eine im Wellenlager (31) des Trägerbauteils (3) drehbar gelagerte Welle (4) zur Anbringung eines Targetrohrs, ein Stützmittel (35) zur Anbringung eines Magnetsystems, im Gehäuse (2) relativ zum Trägerbauteil (3) ortsfest angeordnete Kühlmittelleitungen mit Kühlmittelanschlüssen (51), wobei die Kühlmittelleitungen aus mindestens zwei Leitungsabschnitten (36, 55, 71) zusammengesetzt sind, welche durch eine Steckverbindung lösbar miteinander verbindbar sind, und wobei ein erster Leitungsabschnitt (36) durch das Trägerbauteil (3) führt und ein zweiter Leitungsabschnitt (55) durch ein Anschlussbauteil (5) führt, an welchem die Kühlmittelanschlüsse (51) angeordnet sind, wobei das Trägerbauteil (3) und das Anschlussbauteil (5) an ihren einander zugewandten Seiten komplementär ausgebildete Steckverbinder (37, 56) aufweisen. |
