| 摘要 |
Verfahren zum Schutz von HF-Verstärkern (10, 20) mit zumindest einem schaltenden Element einer Plasmaversorgungseinrichtung (80), die ein Hochfrequenzausgangssignal mit einer Leistung > 500 W und einer im Wesentlichen konstanten Grundfrequenz > 3 MHz an eine Plasmalast (60) liefert, mit den Schritten–Erzeugen von zwei Hochfrequenzquellsignalen mittels zweier Hochfrequenzverstärker (10, 20),–Koppeln der Hochfrequenzquellsignale in einem Koppler (30) zu einem Hochfrequenzausgangssignal,–Senden des Hochfrequenzausgangssignals an die Plasmalast (60),–Messen von elektrischen Größen, die mit den von beiden Hochfrequenzverstärkern (10, 20) gesehenen Lastimpedanzen in Beziehung stehen,–Bestimmen, ob sich die Lastimpedanz eines der Hochfrequenzverstärker (10, 20) außerhalb eines vorgegebenen Bereichs (500, 501, 502, 503, 601, 603, 701, 703) befindet;–Abschalten oder Stillschalten nur eines der Hochfrequenzverstärker, wenn einer der Hochfrequenzverstärker eine Lastimpedanz sieht, die sich außerhalb des vorgegebenen Bereichs (500, 501, 502, 503, 601, 603, 701, 703) befindet. |
