Korrosionsfester Bestandteil und Verfahren zur Herstellung desselben und ein Bestandteil für eine Halbleiter- oder Flüssigkristall-erzeugende Anlage

摘要

Korrosionsfester Bestandteil, umfassend ein Y2O3-Sintermaterial, das 99,9 Gew.-% oder mehr Y in Bezug auf Y2O3 beinhaltet, wobei ein Unterschied in der Kristallkorngröße zwischen der Oberfläche und dem inneren Bereich des Y2O3-Sintermaterials nicht größer ist als 15μm.