Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Unterdrucks in einer Kammer (10) mit einer ölgeschmierten Vakuumpumpe (12), einer die Vakuumpumpe (12) mit der Kammer (10) verbindenden Saugleitung (14) und mindestens einem einen Gasstrom (15) in der Saugleitung (14) in Richtung (20) der Vakuumpumpe (12) erlaubenden Einwegeventil (16) in der Saugleitung (14) oder an/in der Vakuumpumpe (12), wobei an/in der Saugleitung (14) stromaufwärts des Einwegeventils (16) eine Einlassöffnung (27) angeordnet ist, welche einen Gaseintritt von außen in die Saugleitung (14) erlaubt, wobei der Gaseintritt so gehemmt ist, dass der in der Kammer (10) ohne den Gaseintritt maximal erreichbare Unterdruck durch den Gaseintritt höchstens um 10% reduziert ist.