Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Multilagenelektrodensystems

摘要

Die Erfindung betrifft ein Multilagenelektrodensystem sowie ein Verfahren zum Herstellen eines Multilagenelektrodensystems (300). Das Verfahren umfasst einen Schritt des Bereitstellens eines Trägersubstrats (100) mit einer Vertiefung (104) in einer Oberseite (102) des Trägersubstrats (100), wobei zumindest eine Wand der Vertiefung (104) in Bezug auf eine der Oberseite (102) gegenüberliegende Unterseite des Trägersubstrats (100) geneigt ausgebildet ist, und einen Schritt des Aufbringens eines Multilagenstapels, der zumindest eine erste Elektrodenlage, eine zweite Elektrodenlage und eine zwischen der ersten Elektrodenlage und der zweiten Elektrodenlage angeordnete Piezoelektrikumlage aufweist, auf die Oberseite (102) des Trägersubstrats (100), wobei zumindest die Wand und ein Boden der Vertiefung (104) durch zumindest einen Abschnitt des Multilagenstapels abgedeckt werden, um das Multilagenelektrodensystem (300) zu bilden.