一种蒸镀装置

摘要

本发明涉及薄膜形成技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置，包括：至少一个第一线蒸发单元、至少一个第二线蒸发单元、第一面蒸发箱和第二面蒸发箱；第一面蒸发箱和第二面蒸发箱分别设置有开槽，第一线蒸发单元设置在第一面蒸发箱的开槽内，第二线蒸发单元设置在第二面蒸发箱的开槽内；第一面蒸发箱和第二面蒸发箱错层设置，以使设置于第一面蒸发箱中的第一线蒸发单元和设置于第二面蒸发箱中的第二线蒸发单元不位于同一平面。本发明提供蒸镀装置，提高了沉积材料形成的薄膜轮廓的交叠率，进而提升了形成薄膜的品质。

主权项

一种蒸镀装置，其特征在于，包括至少一个第一线蒸发单元、至少一个第二线蒸发单元、第一面蒸发箱和第二面蒸发箱；所述第一面蒸发箱和所述第二面蒸发箱分别设置有开槽，所述第一线蒸发单元设置在所述第一面蒸发箱的开槽内，所述第二线蒸发单元设置在所述第二面蒸发箱的开槽内；所述第二面蒸发箱与所述第一面蒸发箱错层设置，以使设置于第一面蒸发箱中的第一线蒸发单元和设置于第二面蒸发箱中的第二线蒸发单元不位于同一平面。