边缘斜坡修整;EDGE RAMPING

摘要

描述执行边缘斜坡修整的系统和方法。一种系统,包含一基本RF产生器,用于产生一第一RF讯号。该第一RF讯号由一状态过渡至另一状态。该第一RF讯号自一状态至另一状态的过渡造成电浆阻抗的变动。该系统更包含一副RF产生器,用于产生一第二RF讯号。该第二RF讯号由一状态过渡至另一状态,以将电浆阻抗的该变动稳定。该系统包含一控制器,连接至该副RF产生器。该控制器系用于提供参数値至该副RF产生器,以在该第二RF讯号由一状态过渡至另一状态之时执行该第二RF讯号的边缘斜坡修整。