ESD保护器件及其制造方法

摘要

本发明提供一种放电能力优异而短路不良较少、且制造时无需特别的工序、生产性优异的ESD保护器件及其制造方法。ESD保护器件包括：具有玻璃组分的陶瓷基材(1)；相对电极(2)，该相对电极(2)包括一侧相对电极(2a)及另一侧相对电极(2b)，其中，在陶瓷基材的表面以使得前端部彼此相对的方式来形成该一侧相对电极(2a)及该另一侧相对电极(2a)；以及放电辅助电极(3)，该放电辅助电极(3)在相对电极之间与一侧相对电极及另一侧相对电极分别连接，且配置成使得从一侧相对电极横跨到另一侧相对电极，该ESD保护器件采用如下结构：在放电辅助电极和陶瓷基材之间具有密封层(11)，该密封层(11)用于防止玻璃组分从陶瓷基材浸入放电辅助电极。另外，采用如下结构：在密封层与陶瓷基材的界面包括反应层，该反应层包含由密封层与陶瓷基材的构成材料之间的反应而生成的反应生成物。

主权项

一种ESD保护器件，其特征在于，包括：具有玻璃组分的陶瓷基材；相对电极，该相对电极包括一侧相对电极及另一侧相对电极，其中，在所述陶瓷基材的表面以使得前端部彼此隔开间隔且相对的方式来形成该一侧相对电极及该另一侧相对电极；放电辅助电极，该放电辅助电极与构成所述相对电极的所述一侧相对电极及所述另一侧相对电极分别连接，且配置成使得从所述一侧相对电极横跨到所述另一侧相对电极；密封层，该密封层配置在所述放电辅助电极和所述陶瓷基材之间，该密封层用于防止玻璃组分从所述陶瓷基材浸入所述放电辅助电极；以及反应层，该反应层配置在所述密封层与陶瓷基材的界面，且包含由所述密封层的构成材料与所述陶瓷基材的构成材料进行反应而生成的反应生成物，所述密封层的主要构成材料的碱度B1、与构成所述陶瓷基材的非晶质部的碱度B2之差ΔB＝B1－B2为1.33以下，所述反应层的厚度为43.6μm以下。