光刻投影物镜

摘要

一种光刻投影物镜，把掩模的图像聚焦成像在硅片上，从掩模开始包括沿光轴依次设置的：第一透镜组、第二透镜组、孔径光阑AS、相对于孔径光阑与第二透镜组对称的第三透镜组、相对于孔径光阑与第一透镜组对称的第四透镜组。

主权项

一种光刻投影物镜，把掩模的图像聚焦成像在基底上，从掩模开始包括沿着光轴依次设置的：具有正光焦度的第一透镜组；具有负光焦度的第二透镜组；孔径光阑AS；具有负光焦度的第三透镜组，相对于孔径光阑与第二透镜组对称；具有正光焦度的第四透镜组，相对于孔径光阑与第一透镜组对称；第一透镜组接收来自掩模的光线，包含五个光焦度依次为负、负、正、正、正的透镜，第一透镜和第二透镜组成具有负光焦度的子透镜组G1‑1n；第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线，准直后出射至第三透镜组，第二透镜组包含四个光焦度依次为负、正、负、正的透镜，第二透镜和第三透镜组成具有负光焦度的子透镜组G2‑1n。