| 摘要 |
本发明为一种晶圆劈裂位置测定方法及系统,其系统包含一全景取像装置、一劈裂装置、一标准片与一控制元件,而其方法包含步骤A:建立取像座标体系,为让该全景取像装置建立一取像座标体系;步骤B:建立劈裂座标体系:为让该劈裂装置建立一劈裂座标体系;步骤C:建立转换函数,为让该标准片轮流置于该全景取像装置处与该劈裂装置处,并藉由该控制元件建立该取像座标体系与该劈裂座标体系的一转换函数;步骤D:轮廓取像,为于该全景取像装置取得一待劈裂晶圆的一轮廓取像座标;步骤E:转换座标,为藉由该控制元件依据该转换函数,将该轮廓取像座标转换为一劈裂边缘座标。据此,透过全景取像装置取得该轮廓取像座标,再依据该转换函数的转换,即可快速取得该劈裂边缘座标,其不需找寻该待劈裂晶圆的劈裂边缘座标,而节省该待劈裂晶圆的边缘搜寻时间,以增加晶圆劈裂的效率。 |
