| 摘要 |
【课题】使滚筒洗净构件接触于水平旋转之基板表面来洗净该表面时,即使表面特性为疏水性,藉由在基板表面之与滚筒洗净构件彼此接触的洗净区域最佳地供给新鲜之洗净液,仍可以高洗净度有效洗净基板表面。【解决手段】本发明之第一药剂供给喷嘴60系由在呈细长长条状延伸之第一接触区域60a,以药剂接触于基板W之方式,朝向基板之一侧区域供给药剂的喷嘴而构成;第二药剂供给喷嘴62系由在沿着第一接触区域之基板旋转方向的上游侧呈椭圆状扩散之第二接触区域62a,以药剂接触于基板之方式,朝向基板之前述一侧区域供给药剂的喷嘴而构成,冲淋剂供给喷嘴64在沿着基板旋转方向之第二接触区域的上游侧,以冲淋剂接触于基板之方式配置。 |
