发明名称 |
分栅闪存的操作方法 |
摘要 |
本发明公开一种分栅闪存单元的操作方法,所述分栅闪存单元包括栅极、在所述栅极一侧的第一浮栅以及第一浮栅上的第一控制栅、在所述栅极另一侧的第二浮栅以及第二浮栅上的第二控制栅、位于所述第一浮栅外侧的源极端、位于所述第二浮栅外侧的漏极端,当对所述第一浮栅编程时,调整施加在所述第二控制栅的电压,保持所述源极端流向漏极端形成的沟道电流为一恒定值,所述恒定值为1毫安~100毫安。其有益效果是:当第一浮栅为编程状态时,调整在第二控制栅的电压,保持所述源极端流向漏极端形成的沟道电流为一恒定值,从而可以大幅度降低施加所述第二控制栅上的电压,避免第二浮栅下的热电子进入第二浮栅内,保持了第二浮栅的电荷状态的稳定。 |
申请公布号 |
CN101593557B |
申请公布日期 |
2014.07.16 |
申请号 |
CN200910049791.6 |
申请日期 |
2009.04.22 |
申请人 |
上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
顾靖;曹子贵;孔蔚然 |
分类号 |
G11C16/10(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I |
主分类号 |
G11C16/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种分栅闪存单元的编程方法,所述分栅闪存单元包括栅极、在所述栅极一侧的第一浮栅以及第一浮栅上的第一控制栅、在所述栅极另一侧的第二浮栅以及第二浮栅上的第二控制栅、位于所述第一浮栅外侧的源极端、位于所述第二浮栅外侧的漏极端,其特征在于:当对所述第一浮栅编程时,调整施加在所述第二控制栅的电压,在所述漏极端施加的电压为5V~20V,保持所述源极端流向漏极端形成的沟道电流为一恒定值,所述恒定值为1毫安~100毫安。 |
地址 |
201203 上海市张江高科技园区祖冲之路1399号 |