发明名称 | 自动聚焦装置及方法 | ||
摘要 | 本发明公开一种自动聚焦装置及方法。此装置包括一光源、一成像单元、一光感测器以及一对焦调整单元。成像单元包括一物镜以及一分光镜。分光镜用以将反射光束分为一第一子光束以及一第二子光束。成像单元对应于第一子光束以及第二子光束分别具有不同成像精度的一第一成像光路以及一第二成像光路。光感测器用以判断待测物的一离焦位置。对焦调整单元根据待测物的离焦位置,对待测物与物镜的距离进行对焦并选择成像精度,以使待测物的离焦位置依序位于第一成像光路的成像精度内及第二成像光路的成像精度内。 | ||
申请公布号 | CN102478700B | 申请公布日期 | 2014.07.16 |
申请号 | CN201110005190.2 | 申请日期 | 2011.01.12 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 刘建圣;胡平浩 |
分类号 | G02B7/28(2006.01)I | 主分类号 | G02B7/28(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
主权项 | 一种自动聚焦装置,包括:光源,用以产生一光束;成像单元,其包括物镜、分光镜、第一倍率调整镜以及第二倍率调整镜,该物镜用以聚焦该光束,以使该光束投射在一待测物上,该光束经由该待测物反射,以形成一反射光束,该分光镜用以将该反射光束分为一第一子光束以及一第二子光束,该成像单元对应于该第一子光束以及该第二子光束分别具有不同成像精度的一第一成像光路以及一第二成像光路,该第一倍率调整镜具有第一焦距,该第二倍率调整镜具有第二焦距,该第二焦距大于该第一焦距;光感测器,用以侦测该第一子光束或该第二子光束所形成的影像,以判断该待测物的一离焦位置,该第一倍率调整镜位于该第一成像光路上,用以聚焦该第一子光束于该光感测器上,该第二倍率调整镜位于该第二成像光路上,用以聚焦该第二子光束于该光感测器上;以及对焦调整单元,根据该待测物的该离焦位置,对该待测物与该物镜的距离进行对焦并选择成像精度,以使该待测物的该离焦位置依序位于该第一成像光路的成像精度内及该第二成像光路的成像精度内。 | ||
地址 | 中国台湾新竹县 |