光罩夹具

摘要

本实用新型提出了一种用于夹紧光罩边缘的光罩夹具，包括手柄、与手柄固定在一起的活动夹、和设于光罩夹具内部的弹簧，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。光罩夹具具有能够活动的活动夹，被一弹簧控制，能够夹住光罩的边缘，不会污染所述光罩，同时由于光罩夹具能够牢靠的夹紧所述光罩，防止所述光罩脱落，避免对所述光罩造成损伤，也能够避免对下方的透镜造成破坏，提高了取出光罩的成功率。

主权项

一种光罩夹具，用于夹紧光罩的边缘，其特征在于，所述夹具包括活动夹、手柄和弹簧，其中，所述活动夹与所述手柄固定在一起，所述弹簧设于所述光罩夹具的内部，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。