用于光罩检查系统的相位光栅;PHASE GRATING FOR MASK INSPECTION SYSTEM

摘要

本发明揭示光谱纯度滤光器或SPF。此等SPF经设计以阻断一EUV光罩检查系统中之1030奈米驱动雷射及其他非所要之带外光。在本发明中提供用于近法线入射及切线入射之不同相位光栅组态且该等组态经特定组态以用于EUV光罩检查。