电致化学抛光方法

摘要

本发明提供一种电致化学抛光方法，包括以下步骤：配制含有电活性中介体、pH调节剂、粘度调节剂和抑制剂的工作液；将工作电极工作面与工件表面平行相对设置，工作电极工作面具有小于1μm平整度；将工作电极工作面和工件表面浸入工作液中，通过微纳复合进给机构调整工作电极工作面与工件表面的间距至0.05μm～20μm；启动电源使工作电极和辅助电极通电，工作电极工作面附近的电活性中介体通过电化学反应生成刻蚀剂，通过刻蚀剂扩散至工件表面并发生扩散控制的刻蚀反应，对工件表面局部高点进行选择性刻蚀，实现对工件表面无应力抛光。

主权项

一种电致化学抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：配制含有电活性中介体的工作液；将工作电极工作面和工件表面浸入工作液中，所述工作电极工作面与工件表面平行相对设置，所述工作电极工作面具有小于1μm的平整度和小于0.05μm的粗糙度；启动电源给工作液中的工作电极和辅助电极通电，使工作电极工作面通过电化学作用产生刻蚀剂，控制工作电极和工件表面间隙为0.05μm～20μm，进行扩散控制的选择性刻蚀，实现工件表面抛光；其中所述电活性中介体为经过电化学反应能转变成刻蚀剂的物质，所述刻蚀剂为能与工件发生化学反应的离子或者自由基基团。