照明光学系统、照明方法、曝光方法以及装置;LIGHTING OPTICAL SYSTEM, METHOD FOR LIGHTING, MOTHOD FOR EXPOSURE AND EXPOSURE APPARATUS

摘要

本发明的照明光学系统藉由来自光源的照明光对标线片面进行照明，包括：空间光调变器，具有多个反射镜要素；偏光控制系统，配置于反射镜要素的排列面与标线片面之间，改变经由多个反射镜要素朝向标线片面的光的偏光状态；以及旋光子板，配置于上述排列面与偏光控制系统之间，使朝向偏光控制系统的光的偏光状态成为相对于入射面倾斜地交叉的方向的直线偏光。可实现针对变更偏光状态具有高自由度的照明光学系统。