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摘要
申请公布号
JP5550897(B2)
申请公布日期
2014.07.16
申请号
JP20090296271
申请日期
2009.12.25
申请人
发明人
分类号
H01L27/04;H01L21/822
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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