基板收纳处理装置和基板收纳处理方法以及基板收纳处理用存储介质

摘要

本发明提供一种具有收纳处理后的基板之后的盖的锁定的确认功能来实现处理后的基板的搬送的安全性的基板收纳处理装置和基板收纳处理方法以及基板收纳处理用存储介质。基于来自控制单元的控制信号，处理后的晶片W收纳在盒（10）内，并且在盒的开口部（10b）盖（10c）被关闭后，在未保持盖的状态下使盖装卸机构（30）从闭盖位置后退至开盖位置后，由盖装卸机构开放传感器（38b）检测盖装卸机构的开盖位置，并且由盖异常检测传感器（39a、39b）判断盖（10c）的闭盖状态的异常。在将从闭盖位置后退的盖装卸机构（30）再次移动至闭盖位置的状态下，将盖（10c）的锁孔（10d）与盖装卸机构（30）的锁（31）卡合。

主权项

一种基板收纳处理装置，其特征在于，包括：盒载置台，其载置具有用于基板进出的开口部且具有在该开口部能够装卸的盖的盒；处理部，其用于对收纳于所述盒载置台的盒内的基板进行处理；基板搬送机构，其用于将所述基板搬送至所述处理部，并将处理后的基板返回至所述盒载置台的盒；分隔壁，其将所述基板搬送机构的配置部与所述盒载置台分隔，并具有比所述盒的开口部大的开口；盒台，其配置于所述盒载置台，并使载置的所述盒能够在与所述分隔壁的开口抵接的相接位置和从该相接位置后退的离开位置间进退移动；盖装卸机构，其用于经由所述分隔壁的开口，将盖从所述盒的开口部拆卸以及将盖安装在该盒的开口部，所述盖装卸机构包括：与设置于所述盖的锁孔卡合并使以能够卡止和脱离的方式卡止在所述盒的开口部的锁闩切换到锁定/解锁位置的锁；和吸附所述盖来将其保持的吸附保持部件，所述基板收纳处理装置还包括：盖异常检测传感器，其配置在所述分隔壁的开口的缘部，用来确认所述盖的开闭状态；盖装卸机构关闭传感器和盖装卸机构开放传感器，用来检测所述盖装卸机构将保持的盖安装的闭盖位置和从该闭盖位置后退的开盖位置；压力传感器，用于检测所述吸附保持部件将盖吸附保持的负压；和控制单元，用于接收所述盖异常检测传感器、盖装卸机构关闭传感器、盖装卸机构开放传感器和压力传感器的检测信号，并且对所述盖装卸机构向盖开闭位置的移动、所述锁的锁定/解锁操作、和载置于所述盒台的盒向所述相接位置与离开位置的移动进行控制，基于来自所述控制单元的控制信号，在处理后的基板被收纳于所述盒内，盒的开口部被闭盖后，在不保持所述盖的状态下使所述盖装卸机构从闭盖位置后退至开盖位置时，由所述盖装卸机构开放传感器检测所述盖的开盖位置，并且由所述盖异常检测传感器检测盖有无异常来判断闭盖状态的异常。