一种激光脉冲退火设备和退火方法

摘要

本发明公开了一种激光脉冲退火设备和使用该设备的退火方法，通过在激光脉冲退火设备反应腔内设置一个可同时放置多个晶圆的圆盘，并在退火处理过程中使圆盘进行自转和直线移动，使圆盘上各晶圆放置凹槽内的晶圆在圆盘的连续自转和直线往复移动带动下，依次循环地经过激光照射点接受激光的均匀照射，实现对晶圆的批量退火处理。本发明在保证了与传统只能进行单片晶圆退火处理的激光脉冲退火设备一样的退火效果的同时，显著提高了退火效率，可以很好地与高端先进制程中对退火的品质和效率的工艺需求相适应。

主权项

一种激光脉冲退火设备，包括所述退火设备的反应腔内设置的晶圆固定装置，所述退火设备的激光发射器所发射的脉冲激光束射向所述晶圆固定装置的表面形成激光照射点，其特征在于，所述晶圆固定装置包括一圆盘，在所述圆盘面对所述激光发射器的一面环绕所述圆盘圆周设有若干晶圆放置凹槽，每个所述凹槽内可固定放置一个晶圆；所述激光发射器所发射的脉冲激光束射向所述圆盘的表面形成所述激光照射点；所述圆盘连接驱动装置，所述驱动装置可带动所述圆盘在所述反应腔内作围绕所述圆盘中心的自转及沿所述圆盘中心与所述激光照射点连线方向的平面直线往复移动，各所述晶圆在所述圆盘的连续自转和直线往复移动带动下，依次循环经过所述激光照射点进行退火处理。