一种反应气体流量的稳定控制装置

摘要

本实用新型属于科学分析仪器技术领域，具体涉及一种反应气体流量的稳定控制装置。所述反应气体流量的稳定控制装置包括用于与反应用气源连接的气管，所述气管连接气体压力自动稳压调节装置的进气口，所述气体压力自动稳压调节装置的出气口连接有用于与反应器连接而向所述反应器输入流量稳定的反应气体的毛细管。本实用新型通过利用气体压力自动稳压调节装置自动调节气体压力在一个相对稳定的压力状态后，通过毛细管向反应器内输入，从而实现了对输入反应器的气体的流量达到稳定的控制，同时，本实用新型具有结构简单，成本低以及不会受腐蚀的特点。

主权项

一种反应气体流量的稳定控制装置，其特征在于，包括用于与反应用气源连接的气管，所述气管连接气体压力自动稳压调节装置的进气口，所述气体压力自动稳压调节装置的出气口连接有用于与反应器连接而向所述反应器输入流量稳定的反应气体的毛细管。