发明名称 红外线加热装置及乾燥炉
摘要 从灯丝41放射包含红外线之电磁波时,红外线透过内管42,到达以与内管42分开之方式设置成仅覆盖灯丝41之周围的一部分的反射层46,并反射。在此时,以与内管42分开之方式设置反射层46,而且反射层46系可藉在冷媒流路49流通之冷媒冷却。藉此,例如与将反射层46形成于内管42上的情况相比,可更抑制反射层46的过热。又,将使红外线透过之第1外管44设置于内管42与反射层46之间。藉此,因为在灯丝41与反射层46之间存在内管42与第1外管44之双层,所以可更抑制反射层46的过热。
申请公布号 TW201429316 申请公布日期 2014.07.16
申请号 TW102135631 申请日期 2013.10.02
申请人 日本碍子股份有限公司 发明人 藤田雄树
分类号 H05B7/18(2006.01);H01L21/324(2006.01) 主分类号 H05B7/18(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文
主权项
地址 NGK INSULATORS, LTD. 日本