抑制植入物渗透之多层多晶矽;MULTI-LAYER POLYSILICON SUPPRESSION OF IMPLANT SPECIES PENETRATION

摘要

一种阻隔半导体层,用以将植入物渗透入阻隔半导体层下方之半导体层的量降至最低。阻隔半导体层可以具有较细或较小尺寸之晶粒及/或较低浓度之掺杂物,以将植入物渗透入阻隔半导体层下方之半导体层的量降至最低。