电浆处理装置

摘要

提供一种可调整间距,并且不会降低电浆处理之效率性,而能达成排气均匀性及电浆处理均匀性之电浆处理装置。电浆处理装置系具备处理容器、载置台、上部电极、伸缩自如之筒状分隔壁、高频电源、供电构件、驱动框、驱动机构、排气装置及缓冲板。分隔壁系连接载置台及处理容器之底壁。供电构件系配置在分隔壁所包围之空间内而连接至载置台。驱动框系从处理容器侧壁之外侧朝分隔壁所包围之空间内延伸,而连接至载置台下部。驱动机构系配置在处理容器外侧,而将驱动框移动于上下方向。排气空间下部系藉由处理容器之底壁、侧壁及分隔壁而区划出环状之排气道。排气装置系透过处理容器底壁之排气口而连接至排气道。