颗粒清理装置

摘要

本发明提供了一种颗粒清理装置，通过驱动装置驱动回收装置对设备环境中的颗粒进行吸附回收，有效的对设备环境中角落处颗粒的清理，避免了人工手动擦拭需要耗费大量的人力物力且洁净效果不佳的现象，提高了设备环境颗粒的洁净度，进而提高了光罩的洁净度。

主权项

一种颗粒清理装置，适用于光刻机设备中，其特征在于，包括：驱动装置及与所述驱动装置连接的回收装置。