版库设备

摘要

本实用新型提供了一种版库设备，包括版库，所述版库的内部沿竖直方向上区分若干个槽，每个槽用以容置一个版盒，该版库设备还包括升降结构，所述版库设在所述升降结构上，且通过所述升降结构实现升降运动。本实用新型引入了升降结构，由于版库能容纳多个掩模版盒，本实用新型并不要求机械手做复杂的运动，主要表现在其无需沿竖直方向上运动，而是通过升降结构带动版库做升降运动，如此一来，只需在升降时设置合理的工位就能实现不同槽内版盒的取放，避免因多个掩模版库所导致的机械手控制复杂的问题。提供了一种在取放版盒时能够降低机械手运动的复杂性的版库设备。

主权项

一种版库设备，包括版库，所述版库的内部沿竖直方向上区分若干个槽，每个槽用以容置一个版盒，其特征在于：还包括升降结构，所述版库设在所述升降结构上，且通过所述升降结构实现升降运动。