一种激光薄膜的清洗方法

摘要

本发明涉及一种激光薄膜表面的清洗方法，具体步骤为：用蘸有丙酮的棉签轻拭激光薄膜表面，将擦拭后的激光薄膜置于第一清洗槽中，第一清洗槽中加入碱性溶液对该样品进行清洗，溶液温度为室温；所述碱性溶液体积比为NH₄OH：H₂O₂：H₂O=1:10:50；将所得溶液分别在120KHz～180KHz、200KHz～300KHz频率下先后超声2～4分钟；所得样品放置于第二清洗槽中，用去离子水漂洗，去离子水温度为室温；将样品放置第三清洗槽3中，第三清洗槽中加入去离子水，分别在120KHz～180KHz、200KHz～300KHz频率下先后超声3～6分钟；取出样品，重复清洗，干燥，即得所需产品。本发明的优点是在达到较高清洗效率、有效去除表面有机污染物和污染颗粒的同时，对激光薄膜不会造成物理损伤，避免了薄膜在高功率激光系统使用中因为薄膜表面吸附的颗粒而引起的薄膜烧蚀损坏，保证激光薄膜在高功率激光系统使用中具有高的损伤阈值。

主权项

一种激光薄膜的清洗方法，其特征在于具体步骤如下：（1）用蘸有丙酮的棉签擦拭样品激光薄膜表面，将擦拭后的样品置于第一清洗槽中，第一清洗槽中加入碱性溶液对该样品进行清洗，溶液温度为室温；所述碱性溶液配比为NH₄OH：H₂O₂：H₂O=1:10:50；(2)将步骤(1)所得溶液分别在120KHz～180KHz、200KHz～270KHz频率下先后超声2～4分钟；(3)将步骤(2)所得样品放置于第二清洗槽中，用去离子水漂洗，去离子水温度为室温；(4)将步骤(3)所得样品放置第三清洗槽中，第三清洗槽中加入去离子水，分别在120KHz～180KHz、200KHz～300KHz频率下先后超声3～6分钟；(5)取出样品，重复步骤(3)；(6)干燥步骤(5)所得产品。