遮蔽元件、使用其之基板处理系统及取出或插入其之方法;SHIELDING ELEMENT, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM USING THE SAME AND METHOD FOR EXTRACTING OR INSERTING THE SAME

摘要

一种用于自一基板处理系统之一处理腔体取出一遮蔽元件或插入遮蔽元件至处理腔体中之方法系提供。基板处理系统包括处理腔体、一第一遮蔽元件、及一基板传输系统。第一遮蔽元件用于排除一材料应用于一基板之数个部分。基板传输系统用于传输数个基板或数个基板载体至处理腔体内或至处理腔体外。此方法包括藉由基板传输系统传输第一遮蔽元件。