精确温度测量的装置、感测器和方法;PRECISION TEMPERATURE MEASUREMENT DEVICES, SENSORS, AND METHODS

摘要

一种精确的温度感测系统，包含放置在半导体基板上的加热器与感测元件。电力源根据所接收的时脉讯号以周期性基础驱动加热器。感测元件感测由加热器发出并扩散通过半导体基板的热。耦合至感测元件的处理电路系统基于由感测元件感测的热，来调整周期性加热器驱动讯号的相位。处理电路系统基于半导体基板的热扩散系数(TD)、相位的经调整值、及加热器与感测元件之间的已知距离，来决定温度。可在与精确温度感测系统同一基板上放置第二温度感测器，第二温度感测器可基于在施加参考频率讯号至精确感测系统的同时获取的温度测量结果被校正。