发明名称 使用标准化载体以形成嵌入式晶圆级晶片尺寸封装的半导体装置及方法;SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF USING A STANDARDIZED CARRIER TO FORM EMBEDDED WAFER LEVEL CHIP SCALE PACKAGES
摘要 本发明提供一种半导体装置,该半导体装置包含一标准化载体。一半导体晶圆包含复数个半导体晶粒以及一基底半导体材料。该半导体晶圆会被单体化裁切贯穿该基底半导体材料的一第一部分,以便分离该些半导体晶粒。该些半导体晶粒被设置在该标准化载体上方。该标准化载体的大小和半导体晶粒的大小无关。一囊封体会被沉积于该标准化载体上方以及半导体晶粒周围。一互连结构会被形成于半导体晶粒上方,同时让该囊封体不会有该互连结构。该半导体装置会被单体化裁切贯穿该囊封体。囊封体会残留设置在该半导体晶粒的一侧边上。或者,该半导体装置会被单体化裁切贯穿该基底半导体的一第二部分并且贯穿该囊封体,以便从半导体晶粒的该侧边处移除该基底半导体的该第二部分和囊封体。
申请公布号 TW201428907 申请公布日期 2014.07.16
申请号 TW102139930 申请日期 2013.11.04
申请人 史达晶片有限公司 发明人 韩丙濬;沈一权;林耀剑;玛莉姆苏 潘迪C
分类号 H01L23/28(2006.01);H01L21/56(2006.01) 主分类号 H01L23/28(2006.01)
代理机构 代理人 <name>阎启泰</name><name>林景郁</name>
主权项
地址 STATS CHIPPAC, LTD. 新加坡