发明名称 半导体元件翻转装置;SEMICONDUCTOR DEVICE TRANSFER APPARATUS
摘要 本发明揭露一半导体元件翻转装置,包含:一平台,系包含一承载台及一滚轮系统;一定位装置位于平台之上方,系包含一圆形开口区域;及一移动装置连接平台与定位装置。
申请公布号 TW201428871 申请公布日期 2014.07.16
申请号 TW102101043 申请日期 2013.01.10
申请人 晶元光电股份有限公司 发明人 魏志伟;许嘉良
分类号 H01L21/67(2006.01) 主分类号 H01L21/67(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 EPISTAR CORPORATION 新竹市科学工业园区力行五路5号