液体喷射头、液体喷射装置、以及致动器

摘要

本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置、以及致动器，能够提高压电元件的变位特性并实现高速驱动，并且能够抑制对压电体层的破坏而提高耐久性。压电体层(70)的端面由向其外侧倾斜的倾斜面构成，构成各个压电元件的下电极(60)以比压力产生室(12)的宽度窄的宽度形成，并且压电体层(70)以比下电极(60)的宽度宽的宽度形成，振动板(50)的最表层由绝缘体膜(52)构成，该绝缘体膜由氧化钛(TiO_x)形成，下电极的最表层由取向控制层(62)构成，该取向控制层由镍酸镧(LaNi_yO_x)形成，并且，压电体层(70)由柱状结晶形成，并且形成在绝缘体膜(52)上的压电体层(70a)的晶粒的平均粒径比形成在取向控制层(62)上的压电体层(70b)的晶粒的平均粒径小。

主权项

一种液体喷射头，包括流路形成基板和压电元件，所述流路形成基板并列设置有分别与喷射液滴的喷嘴连通的多个压力产生室，所述压电元件包括间隔着振动板而设置在所述流路形成基板的一个面侧的下电极、压电体层、以及上电极，所述压电体层的端面由向其外侧倾斜的倾斜面构成，构成各个压电元件的所述下电极以比所述压力产生室的宽度窄的宽度形成，并且所述压电体层以比所述下电极的宽度宽的宽度形成，并且，所述压电体层由柱状结晶形成，所述液体喷射头的特征在于，所述振动板的最表层由绝缘体膜构成，所述绝缘体膜由氧化钛(TiO_x)形成，所述下电极的最表层由取向控制层构成，所述取向控制层由镍酸镧(LaNi_yO_x)形成，并且形成在所述绝缘体膜上的压电体层的晶粒的平均粒径比形成在所述取向控制层上的压电体层的晶粒的平均粒径小。